Оже-микроанализатор JAMP-9510F

Выпускаемая сегодня модель оже-микроанализатора JAMP-9510F оснащается термополевым катодом и имеет электронно-оптическую систему новой конструкции, которая позволила значительно повысить пространственное решение, давая возможность получать на JAMP-9510F электронный зонд с минимальным диаметром 3 нм (в режиме вторичной электронной эмиссии) и 8 нм (в режиме Оже-анализа).
 
JAMP-9510F - это сверхвысоковакуумный аналитический РЭМ, обладающий высоким разрешением во вторичных электронах и очень высоким разрешением в Оже-электронах, оснащенный спектрометром энергии электронов высокого разрешения (до 0,05%), с помощью которого можно осуществлять не только элементный, но и химический анализ (т.е., например, различать кремний в окисле и кремний в чистом состоянии), что позволяет проводить тонкие исследования профилей концентрации элементов на границах раздела в многослойных полупроводниковых структурах.